產品總體要求：采用先進的鍍膜工藝,追求性價比最優、可靠性高，有自己的特色，設計出的產品要能適應工業生產的要求，設備美觀、性能可靠。產品主要應用領域是小型塑化零部件表面表面處理。

主要參數

項目	ZDJ-F1500
極限壓力　Pa	≤1×10-3Pa（空載）
靜態漏放氣率　Pa.L/s	≤0.5 Pa.L/s
二次恢復真空時間　min	≤7 min
低真空抽氣時間　min	≤6 min
工作真空度　Pa	2×10-2Pa
磁控靶功率　kVA	120kVA  帶載1000V
離子轟擊源功率　kVA	25kVA
設備總功率　kVA	200kVA
總需水量m3/h	8　 m3/h
氣源進口氣壓　M Pa	≥0.6 M Pa
總重量　t	主機14t；
外形尺寸　m	主機：7.2×5.4×3.33m 工件轉盤：φ750mm
工件架轉速　r/min	0~6　r/min